Wafer front-end modul 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Fast pris plus moms
59.750 €
Produktionsår
2010
Stand
Brugt
Beliggenhed
Dresden 

Vis billeder
Vis kort
Oplysninger om maskinen
- Maskinbetegnelse:
- Wafer front-end modul 300 mm
- Producent:
- BROOKS ASYST
- Model:
- Spartan EFEM Sorter
- Produktionsår:
- 2010
- Stand:
- brugt
Pris og placering
Fast pris plus moms
59.750 €
- Beliggenhed:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Ring op
Detaljer om tilbuddet
- Annonce-ID:
- A20798077
- Referencenummer:
- LW43278
- Opdatering:
- sidst den 05.01.2026
Beskrivelse
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Tilstand: Brugt
Tekniske data:
100-240V AC
Iodpfx Afex I Ax Se Eoap
50/60Hz
10A
Generelt:
300-mm EFEM med 3 loadports, renrum-mini-miljø og integreret wafer-transferrobot
Dette udstyr er et Equipment Front End Module (EFEM) fra ASYST Spartan-serien, udviklet til fuldautomatisk håndtering af 300-mm siliciumwafers i halvlederproduktion.
Det har tre loadports, et mini-miljø med ULPA-luftfiltre, intern belysning, omfattende sikkerhedsstyring samt alle nødvendige grænseflader til systemintegration.
Derudover er der indbygget en fuldt integreret wafer-transferrobot, som henter wafers fra FOUP-/kassette-loadports, separerer dem og overfører dem præcist til efterfølgende procesmoduler.
Byggeår: 27.12.2010
Inkl. CD med betjenings-, service- og installationsmanualer (9701-3060-01 Rev G)
Annoncen er blevet oversat automatisk. Oversættelsesfejl kan forekomme.
Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Tilstand: Brugt
Tekniske data:
100-240V AC
Iodpfx Afex I Ax Se Eoap
50/60Hz
10A
Generelt:
300-mm EFEM med 3 loadports, renrum-mini-miljø og integreret wafer-transferrobot
Dette udstyr er et Equipment Front End Module (EFEM) fra ASYST Spartan-serien, udviklet til fuldautomatisk håndtering af 300-mm siliciumwafers i halvlederproduktion.
Det har tre loadports, et mini-miljø med ULPA-luftfiltre, intern belysning, omfattende sikkerhedsstyring samt alle nødvendige grænseflader til systemintegration.
Derudover er der indbygget en fuldt integreret wafer-transferrobot, som henter wafers fra FOUP-/kassette-loadports, separerer dem og overfører dem præcist til efterfølgende procesmoduler.
Byggeår: 27.12.2010
Inkl. CD med betjenings-, service- og installationsmanualer (9701-3060-01 Rev G)
Annoncen er blevet oversat automatisk. Oversættelsesfejl kan forekomme.
Udbyder
Bemærk: Registrer dig gratis eller log ind, for at få adgang til alle oplysninger.
Sidst online: sidste uge
Registreret siden: 2014
98 Annoncer online
Send anmodning
Telefon & Fax
+49 351 8... annoncer
Din annonce er blevet slettet
Der opstod en fejl


































