Wafer front-end modul 300 mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

fast pris uden moms
59.750 €
Produktionsår
2010
Betingelse
Brugt
Beliggenhed
Dresden Tyskland
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Wafer front-end modul 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Vis billeder
Vis kort

Oplysninger om maskinen

Maskinbeskrivelse:
Wafer front-end modul 300 mm
Fabrikant:
BROOKS ASYST
Model:
Spartan EFEM Sorter
Produktionsår:
2010
Betingelse:
brugt

Pris og placering

fast pris uden moms
59.750 €

Beliggenhed:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Tyskland
Ring

Detaljer om tilbuddet

Noterings-id:
A20798077
Referencenr.:
LW43278
Sidst opdateret:
d. 19.12.2025

Beskrivelse

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Tilstand: Brugt

Tekniske data:
Itjdpfxox I Ax So Ahusr
100-240V AC
50/60Hz
10A

Generelt:
300-mm EFEM med 3 loadports, renrum-mini-miljø og integreret wafer-transferrobot

Dette udstyr er et Equipment Front End Module (EFEM) fra ASYST Spartan-serien, udviklet til fuldautomatisk håndtering af 300-mm siliciumwafers i halvlederproduktion.
Det har tre loadports, et mini-miljø med ULPA-luftfiltre, intern belysning, omfattende sikkerhedsstyring samt alle nødvendige grænseflader til systemintegration.
Derudover er der indbygget en fuldt integreret wafer-transferrobot, som henter wafers fra FOUP-/kassette-loadports, separerer dem og overfører dem præcist til efterfølgende procesmoduler.

Byggeår: 27.12.2010
Inkl. CD med betjenings-, service- og installationsmanualer (9701-3060-01 Rev G)

Annoncen blev oversat automatisk, og der kan forekomme nogle oversættelsesfejl.

Udbyder

Registreret siden: 2014

500 Annoncer online

Trustseal Icon

Telefon & Fax

+49 351 8... annoncer