08 Maseveon Station + LC Afgasningsenhed

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Introduktion:
1. Dette dokument beskriver de funktionelle krav til en:
1.1. LC-bakke afgasningskammer
1.2. LC-bakke afgasningskammer er et (kontrolleret vakuumkammer), hvor en aluminiumsbakke med LC-væske afgasses i et vakuummiljø over en periode (dvs. indespærret luft evakueres)

Vakuumprofil:
1.1. Trykindstillinger frit justerbare mellem 1,103 og 1,10⁻³ mBar
1.1.1. Måleområde: 1,103 – 5,10⁻⁴ mBar
1.2. Tidsindstillinger frit justerbare mellem 1 og 600 min pr. trin
Crsdpfswam Sajx Aadeh
1.2.1. Afgasningstrin (D) kan være fra minutter til dage
1.3. Evakuering- og udluftningshastigheder skal kunne styres
1.4. Evakueringscyklus (A – D) udføres automatisk
1.4.1. Udluftningstrin (E) skal aktiveres manuelt (operatør)
1.5. Typisk afgasningsprofil

2. Indvendig opbygning:
2.1. Rustfrit stål (aluminium), poleret proceskammer (indvendigt)
2.1.1. Lækagerate skal aftales
2.2. LC-bakke (adapter) udtræk for let ind- og udlæsning af LC-bakken (ingen stød eller rystelser tilladt), se afsnit 2 LC-bakkens dimensioner og appendiks 1
2.3. LC-bakken skal altid være i vater for at undgå spild af LC
2.4. Kammeret skal være let/hurtigt tilgængeligt for rengøring og/eller ind- og udlæsning af LC-bakke
2.5. Kammerets indvendige side skal være poleret for let rengøring og for at undgå kontaminering og/eller fugtopsamling
2.6. Mulighed for overvågning (inspektionsvindue) af afgasningscyklussen, dvs. overvågning af overfladeadfærd for LC-væske i LC-bakken
2.7. Ingen procesforurening forårsaget af kammermateriale (-produktion)

Annoncen blev oversat automatisk, og der kan forekomme nogle oversættelsesfejl.